千级洁净室是一种高标准的空气洁净生产环境,用于半导体、光电、生物医药等多个领域。以下是千级洁净室的一些关键标准参数:
1.空气质量:
空气中粉尘浓度应低于0.5μm/m³。
较大颗粒物浓度应低于0.3μm/m³。
超细颗粒物浓度应低于0.1μm/m³。
2.空气流动:
应满足大气压力差不超过20Pa。
温度差不超过2℃。
湿度差不超过5%。
3.温度和湿度:
一般温度应在18-25℃之间。
湿度应在30-65%之间。
4.洁净度:
应符合1000级标准。
细菌浓度应低于100个/m³。
超细颗粒物浓度应低于0.1μm/m³。
灰尘浓度应低于5μm/m³。
甲醛浓度应低于0.08mg/m³。
甲苯浓度应低于0.1ppm。
电磁波强度应低于5V/m。
5.气压和压力控制:
大气压力应保持在101.3-103.3Kpa之间。
与周围环境的大气压力保持一定的差值。
6.静电控制:
需要采取措施控制静电,如使用静电消除器和接地。
7.结构和布局:
应避免气流涡流,并考虑到车间布局和工作性质的要求。
这些参数对于确保千级洁净室的空气质量和生产效率至关重要,需要严格按照相关规定执行,以保证洁净室的正常运行和使用效果。
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