首先,洁净室级别:按照国际标准ISO 14644-1或美国联邦标准209E来分类。例如,ISO 5(或Class 100)的洁净室指空气中直径大于或等于0.1微米的粒子每立方米不超过3,520个。
其次, 空气过滤效率:高效颗粒空气过滤器(HEPA)通常可以捕获至少99.97%直径为0.3微米的粒子,而超高效颗粒空气过滤器(ULPA)可以捕获至少99.999%直径为0.12微米的粒子。
第三,温度控制:洁净室的温度控制精度通常需要在±1°C以内,但更精密的工艺可能需要更高的控制精度。
第四, 湿度控制:洁净室的相对湿度控制范围通常在45%至55%,但这也可能根据具体的工艺要求而有所不同。控制精度通常需要在±5%以内。
第五,空气更换率:表示每小时循环换气的次数,可以从几次到几百次不等,取决于洁净室的级别和所需的洁净度。
第六,压差控制:维持洁净室内外的正压差,以防止污染物从外部环境进入。一般来说,压差应保持在10-15帕斯卡(Pa)以上。
第七, 静电控制:在某些镀膜净化工程中,还需要控制静电的产生和消除,因为静电可能吸引尘埃或破坏电子元件。
具体的工程相关数值会根据镀膜净化工程的具体要求和应用领域而有所不同。设计和实施净化工程时需要严格按照设计标准和操作要求来保证最终的镀膜质量和产品性能。