首先,洁净室等级:通常根据ISO 14644-1定义,可能为ISO 5、ISO 7、ISO 8等级,以满足制品对洁净度的需求。
其次,空气洁净度:要求空气中特定粒径大小的颗粒数量控制在一定范围内,例如在ISO 5级别的环境中,0.3微米颗粒的数量不得超过3520个/立方米。
第三,HEPA/ULPA过滤器效率:用于去除0.3微米及以上颗粒的过滤器通常要求达到99.97%至99.999%的过滤效率。
第四,空气更换率:洁净室内空气每小时更新的次数,这取决于洁净室的等级和大小,数十次至数百次不等。
第五,温度控制:通常维持在20-24°C之间,为操作人员和机械设备提供稳定的工作环境。
第六,湿度控制:相对湿度通常控制在45-65%RH之间,以防止静电的产生和避免含水分颗粒的影响。。
第七,正压差:洁净区与非洁净区之间正压差至少维持在10-15 Pa,确保外界空气不会进入洁净区。
第八,风速:根据操作要求,工作区域的风速可能被设定在一定范围内,如0.3-0.5米/秒。
第九, 照度要求:提供足够光线以满足作业需要,常见标准为500-800 Lux。
第十, 噪声水平:一般控制在接受范围内,如不超过70 dB,以确保作业人员的舒适性。